微波等离子设备参数:
3 kWcw/4.5kW的脉冲HF-输出
紧凑型设计
易于安装
集成隔离
联锁:磁控管过温保护(5-50℃)
水冷:10升/分钟,6至10bar
波导WR340 (BJ26)
集成定向耦合器用于反射功率监控
频率:2450±20
功率:1KW,2KW,3KW,6KW,15KW(可选)
915MHz微波等离子体可接受预定