微波等离子设备参数：
3 kWcw/4.5kW的脉冲HF-输出
紧凑型设计
易于安装
集成隔离
联锁：磁控管过温保护（5-50℃）
水冷:10升/分钟，6至10bar
波导WR340 (BJ26)
集成定向耦合器用于反射功率监控
频率：2450±20
功率：1KW，2KW，3KW，6KW，15KW（可选）
915MHz微波等离子体可接受预定
