赣州艾比富科技有限公司
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微波等离子体是一种通过微波电磁场激发与维持的等离子体。微波等离子体与电晕放电等离子体、介质阻挡放电等离子体相比,具有无电极、气体温度高(103 °C)、电子密度大、易于形成大体积(104 cm3)炬状等离子体等优点[1,2] 具有丰富的高能态粒子和活性自由基。其基本特性如图1、2所示。
微波等离子体原理:微波电源为磁控管供电,由磁控管产生2.45 GHz微波,微波进入渐变型矩形波导谐振腔,在腔内形成稳定的驻波状态,石英管中心恰位于驻波波峰的高电场场强区域;在靠近石英放电管侧波导较薄,以提升石英放电管附近微波能量传输密度,从而增强石英管中心位置电场强度,减小微波等离子体激发难度[1,2]。大气压微波等离子体模块化装置如图3所示。
由于大气压空气微波等离子体可以在常压环境下产生,工作气体易于获取,从而微波等离子体在纳米材料合成、蚀刻、有机废气处理、垃圾无害化处理[3]等领域取得了显著成效。
参考文献: